· Model: Quantera SXM, Scanning XPS Microprobe
·
· 주요제원
- Minimum X-ray Beam Size: 9um
- XPS Energy Resolution on Ag: FWHM < 0.49 eV for
the Ag 3d5/2 peak
- XPS Energy Resolution on PET: FWHM < 0.85 eV
for the O=CO peak in the
carbon 1s spectrum
- XPS Elemental Sensitivity &Energy Resolution
> 35 kcps <10.0 μm <1.00 eV
> 70 kcps <15.0 μm <1.00 eV
> 125 kcps <20.0 μm <1.00 eV
> 2 Mcps <100 um <1.00 eV
- Sample platen: (75mm * 75mm ) * 3
· XPS DEMO LAB 운영 목적
- 고객 시료 분석 지원
- PHI XPS 장비 User의 분석을 위한 장비 대여 서비스
- 당사 기술진과 영업팀의 장비 연수
- 미래 고객의 장비 운용 연수
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