· Model: Quantera SXM, Scanning XPS Microprobe

·

· 주요제원

- Minimum X-ray Beam Size: 9um

- XPS Energy Resolution on Ag: FWHM < 0.49 eV for the Ag 3d5/2 peak

- XPS Energy Resolution on PET: FWHM < 0.85 eV for the O=CO peak in the

carbon 1s spectrum

- XPS Elemental Sensitivity &Energy Resolution

> 35 kcps <10.0 μm <1.00 eV

> 70 kcps <15.0 μm <1.00 eV

> 125 kcps <20.0 μm <1.00 eV

> 2 Mcps <100 um <1.00 eV

- Sample platen: (75mm * 75mm ) * 3

· XPS DEMO LAB 운영 목적

- 고객 시료 분석 지원

- PHI XPS 장비 User의 분석을 위한 장비 대여 서비스

- 당사 기술진과 영업팀의 장비 연수

- 미래 고객의 장비 운용 연수